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新型激光比長儀實現激光干涉儀動態高精度校準。
據中國計量院孫雙花副研究員介紹，裝置借鑒了中國計量院“激光干涉比長儀線紋工作基準”的精密激光干涉測長、高精度光電顯微鏡動態瞄準、精密氣浮控制等關鍵技術，可以實現線紋尺、激光干涉儀及位移傳感器等的動態高精度校準。裝置主體采用天然花崗巖結構，基于變形分析和建模進行了精心設計，床身尺寸3.4m×1m×0.7m，整體重達9噸，導軌直線度實測優于1μm/m，可有效避免移動工作臺運動導致的機械變形，抗震性能好，長期穩定性優。此外，顯微鏡工作距離達到28mm，適用于各種厚度的線紋尺刻線面朝向物鏡或背向物鏡檢測，線紋尺校準與其使用狀態一致，保障了量值傳遞的精度和可靠性。
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